Полное описание

129933
Комаров, Ф. Ф. Ионная и фотонная обработка материалов : учебное пособие / Комаров Ф. Ф. - Минск : Вышэйшая школа, 2022. - 248 с. - URL: https://www.iprbookshop.ru/129933.html (дата обращения: 25.07.2023) . - Режим доступа: ЭБС IPR SMART. - ISBN 978-985-06-3395-8 : Б. ц.

Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

	УДК
	621.9

	ББК
	34.55

Кл.слова (ненормированные): дефект -- ионная обработка -- ионный пучок -- легирующий атом -- материал -- микроэлектроника -- отжиг -- фотонная обработка -- электроника
Аннотация: Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
Доп. точки доступа:
Константинов, С. В.

Обложка книги
Перейти к просмотру издания

Просмотр издания ЭБС IPR SMART