Полное описание

Обзоры по электронной технике : обзорная информация / ЦНИИ "Электроника". - М. : [б. и.], 19 - . - В надзаг.Департамент электрон. пром-сти. - Текст : непосредственный.
Вып. 6(1487) : Плазмохимическое и ионно-химическое травление-полупроводниковых материалов типа А B : по данным отеч.и зарубеж.печати за 1966-1988 гг. / В.И.Светцов,Н.Г.Данилов,Т.А.Чеснокова. - 1989. - 47 с. : ил.

Библиогр.:с.41-47(81 назв.).Сер.6,Материалы.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:621.794

Рубрики:
Полупроводники -- Травление

Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИК -- ТРАВЛЕНИЕ
Доп. точки доступа:
Данилов, Н.Г.
Чеснокова, Т.А.
"Электроника", ин-т (Москва)

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/15125/6(1487))

Шифр в сводном ЭК: 12689565a91cc17c3e5e1126afd0c77f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽