Полное описание

125423
Камлюк, В. С. Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие / Камлюк В. С. - Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2022. - 267 с. - URL: https://www.iprbookshop.ru/125423.html (дата обращения: 11.04.2023) . - Режим доступа: ЭБС IPR SMART. - ISBN 978-985-895-032-3 : Б. ц.

Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

	УДК
	621.315

	ББК
	32.844

Кл.слова (ненормированные): аттестация -- микроэлектроника -- наладка -- полупроводник -- регулировка -- технологическое оборудование
Аннотация: В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники. Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника».
Доп. точки доступа:
Камлюк, Д. В.

Перейти к просмотру издания
Обложка книги

Просмотр издания ЭБС IPR SMART