Полное описание

Бузунов, Н. В. Исследование инжекционно-термической обработки наноразмерных диэлектрических слоев / Н. В. Бузунов, В. А. Сеничкин. - Текст : непосредственный // Наноинженерия - 2011. - М. : Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. - С. 91-97. - Библиогр.: 4 назв.
ГРНТИ 47.13.81

Аннотация: Исследование влияния температуры на выявление дефектов диэлектриков наноразмерной толщины, подвергшихся инжекционной обработке.
Доп. точки доступа:
Сеничкин, В.А.


Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -546520-441766)

Шифр в сводном ЭК: 11b3eb4253b82197baa321a4a12f3d16

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽