Полное описание

106532
Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов : учебное пособие / Маскаева Л. Н. - Екатеринбург : Издательство Уральского университета, 2018. - 136 с. - URL: https://www.iprbookshop.ru/106532.html (дата обращения: 11.04.2023) . - Режим доступа: ЭБС IPR SMART. - ISBN 978-5-7996-2411-8 : Б. ц.

Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

	УДК
	539

	ББК
	24.1

Кл.слова (ненормированные): водный раствор -- газовая фаза -- полупроводниковая пленка -- тонкая пленка -- халькогениды -- химическое осаждение
Аннотация: В учебном пособии изложены теоретический материал и алгоритмы выполнения курсовых работ, предлагаемых студентам по ряду профильных дисциплин, связанных с прогнозированием условий и проведением процесса осаждения полупроводниковых пленок на основе халькогенидов металлов и других сопутствующих фаз. Приведены необходимый для выполнения расчетов обширный справочный материал, рекомендации по содержанию и оформлению отчетов. Исходя из известных рабочих рецептур, подобраны различные варианты индивидуальных заданий по курсовым работам. Предназначено для студентов бакалавриата и магистрантов, обучающихся по программе «Химическая технология материалов электроники, сенсорной аналитики и неорганических веществ», будет полезно аспирантам различных специальностей и преподавателям вузов.
Доп. точки доступа:
Маскаева, Л. Н.
Марков, В. Ф.
Форостяная, Н. А.
Туленин, С. С.
Федорова, Е. А.
Смирнова, З. И.
Титов, А. Н.
Маскаевой, Л. Н.\ред.\

Перейти к просмотру издания
Обложка книги

Просмотр издания ЭБС IPR SMART