Полное описание

Dry process : the 15th Dry process symp.,Tokyo,Nov.1-2,1993 / DPS 93. - Tokyo : [s. n.], 1994. - 2133-2438 p. p. - (Japanese journal of applied physics.Pt.1, ISSN 0021-4922 ; vol.33,N 4B,1994). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002(063)
47.01.13

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР
Доп. точки доступа:
Horiike, Y.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W2806/Vol.33,N 4B,1994)

Шифр в сводном ЭК: 0bea74ea3649e2ac69ebc12ca50763cc

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽