• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Optical microlithography and metrology for microcircuit fabrication : proc.of the meet.ECO 2, 27-28 Apr.1989,Paris / Ed.: M. J. Lacombat, S. Wittekoek ; Ed.: M. J. Lacombat, S. Wittekoek. - Bellingham(Wa)) : [s. n.], 1989. - VII,206 p. p. : ill. - (Proceedings / Soc.of photo-optical instrumentation engineers ; vol.1138). - ISBN 0-8194-0174-9. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце статей.Указ.:с.206

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.77-047.84:776(062)

    Рубрики:
    Фотолитография -- Съезды и конференции
    Интегральные схемы -- Технический контроль -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ
    Доп. точки доступа:
    Lacombat, M.J.\ed.\
    Wittekoek, S.\ed.\

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/7309/1138)

    Шифр в сводном ЭК: 0b1bec0ecbe9e207ee6da0443d136ac7



    Заказ фрагмента документа ₽