Полное описание

Королев, С. Ю. Повышение надежности интегральных схем в процессе серийного производства методом выравнивающей технологии : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. Ю. Королев. - Воронеж, 1997. - 16 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 15-16 (10 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77.019.3(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР98-1192)

Шифр в сводном ЭК: 08b0de5cc87cb7d8155419bf1e74d202

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽