Полное описание

Беклемышев, В. И. Возможности лазерно-акустической очистки поверхности кремния, покрытой тонким слоем жидкости, от частиц субмикронного размера / В. И. Беклемышев, А. А. Коломенский, А. А. Мазнев. - М. : [б. и.], 1991. - 20 с. : ил. - (Препринт / Институт общей физики(Москва) ; 33(1991)). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84(04)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Очистка

Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ОЧИСТКА
Доп. точки доступа:
Коломенский, А.А.
Мазнев, А.А.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/42285/33(1991))

Шифр в сводном ЭК: 088d4b0416250df1d4776a30336d0dc7

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽