Полное описание

06934000860
Пределы взрываемости полупроводниковых газов / ВЦП. - [Б. м. : б. и.]. - 18 c. : ил. - Яп.яз. - Пер. ст. / Х. Отани из журн.: // Касай. - 1991. - Vol. 41, N 1. - P. 27-34. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: 18 назв.
ГРНТИ 61.01.92

Рубрики:
Горючие газы
Предприятия электронной промышленности

Кл.слова (ненормированные): полупроводники -- производство -- техника безопасности -- силан -- фосфин -- арсин -- диборан -- дихлорсилан -- дисилан -- герман -- селеноводород -- теллуроводород -- стибин -- станнан
Доп. точки доступа:
Отани, Х.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽