Полное описание

06920000224
Вытягивание широкого пучка из нового ионного источника распылительного типа при помощи электрического зеркала / ВЦП.Киев.ред. - [Б. м. : б. и.]. - 11 с. : ил. . - Пер. ст. Broad Beam Extraction From a New Sputteringtype Ion Source Using an Electric Mirror / M. Matsuoka, Ono из журн.: // Journal of Vacuum Science and Technology. - 1990. - Vol. A8, N 3. - P.1840-1843. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: 14 назв.
ГРНТИ 55.22.19 + 55.20.99

Рубрики:
Металлизация в вакууме

Аннотация: при ионной металлизации
Доп. точки доступа:
Matsuoka, M.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽