Полное описание

Жмакин, А. И. Численное моделирование гидродинамических процессов при выращивании полупроводниковых структур методами газофазной и жидкофазной эпитаксии : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ-мат.наук:01.02.05 / А. И. Жмакин. - СПб, 1992. - 33 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: С.-Петербург.гос.техн.ун-т. Библиогр.: с. 31-32(31назв.).

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР92-4626)

Шифр в сводном ЭК: 0591b2faea1e7f85c1ca03320ce77923

Заказать издание
Заказ фрагмента документа