Полное описание

Anderer, B. Grundlagen fur die rontgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlangen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter / B.Anderer,W.Ehrfeld,J.Mohr. - Karlsruhe : [s. n.], 1990. - 95 S. : Ill. - (Berichte KfK / KfK ; N4702). - Текст : непосредственный.
Рез. англ. Библиогр.: с.92-95

ГРНТИ	УДК
50.09.51	004.312.24'1

Рубрики:
Мультиплексоры -- Производство

Доп. точки доступа:
Ehrfeld, W.
Mohr, J.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): S/333/4702)

Шифр в сводном ЭК: 04546c0dea1c165abba6268bd84b3d61

Заказать издание
Заказ фрагмента документа