Полное описание

International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (41st ; 1997 ; Dona Point,Ca). Papers from the 41st international conference on electron,ion,and photon beam technology and nanofabrication,27-30 May 1997,Dona Point(Ca) / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (41st; 1997; Dona Point,Ca) ; Ed. G. Owen. - New York : [s. n.], 1997. - 1853-3075 p. p. : ill. - (Journal of vacuum science & technology B, ISSN 0734-211X ; 1997,Vol.15,N 6). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621.9.048.7(062)
47.13.33	621.3.049.76.002(063)

Рубрики:
Электронно-ионная обработка -- Съезды и конференции
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ЭЛЕКТРОННО-ИОННАЯ ОБРАБОТКА -- ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУЧКИ
Доп. точки доступа:
Owen, G.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8873/1997,Vol.15,N 6)

Шифр в сводном ЭК: 0429c6843ba53c3c2578f8924a8b9336

Заказать издание
Заказ фрагмента документа