Полное описание

Беневоленский, С. Б. Повышение эффективности травления арсенида галлия в низкотемпературной плазме с использованием гетерогенного катализа и пассивации боковых поверхностей профиля травления продуктами полимеризации : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.12.13 / С. Б. Беневоленский. - М., 1991. - 20 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. авиацион. технол. ин-т им.К.Э.Циолковского. Библиогр.:с. 18(8 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592.002:621.794(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР91-015584)

Шифр в сводном ЭК: 03814f7c23ef41b54b225635e015744a

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽