Полное описание

Ирха, В. А. Методика нанесения нанолитографического рисунка методом электронно-стимулированного осаждения / В. А. Ирха, В. Н. Лозовский. - Текст : непосредственный // Микроэлектронные информационно-управляющие системы и комплексы. - Новочеркасск, 2011. - С. 116-119. - Библиогр.: 3 назв.
(Шифр в БД Ж2-11/51935)
ГРНТИ 47.13.17

Аннотация: Предложен метод электронной литографии, основанный на эффекте электронно-стимулированного осаждения вещества на поверхность твердых тел. Сущность данного метода заключается в непосредственном нанесении литографического рисунка из маскирующего материала на поверхность полупроводниковой пластины остросфокусированным пучком электронов без использования фоторезиста.
Доп. точки доступа:
Лозовский, В.Н.


Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ПНТ (1), ХРЦ (1)
Свободны: ПНТ (1), ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽