Полное описание

Коломийцев, А. С. Исследование режимов субмикронного профилирования подложек кремния методом фокусированных ионных пучков для формирования элементов микро- и наносистемной техники / А. С. Коломийцев. - Текст : непосредственный // Наноинженерия - 2010. - М. : Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. - С. 186-189. - Библиогр.: 2 назв.
(Шифр в БД Д9-10/72904)
ГРНТИ 47.03.05

Кл.слова (ненормированные): галлий
Аннотация: Экспериментальные исследования режимов субмикронного профилирования кремниевой подложки фокусированным ионным пучком галлия.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)
Заказаны экз-ры для отделов: фо24

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽