Полное описание

Пучково-плазменные технологии для модификации конструкционных материалов и создания наноматериалов / О. Л. Вересов, С. В. Григоренко, Е. Г. Доненко [и др.]. - Текст : непосредственный // Вакуумная техника, материалы и технология : материалы V Междунар. науч.-техн. конф., 30 марта - 2 апр., 2010 г., Москва. - М. : Новелла, 2010. - С. 140-145. - Библиогр.: 7 назв.
(Шифр в БД Ж2-10/49369)
ГРНТИ 81.29.31

Аннотация: Рассказано о Центре вакуумных технологий введенного в эксплуатацию в НИИЭФА. Центр включает в себя: установки магнетронного напыления "УНВП" и "Оратория-5", вакуумный универсальный пост ВУП-5 и пучково-плазменную установку "Каштан".
Доп. точки доступа:
Вересов, О.Л.
Григоренко, С.В.
Доненко, Е.Г.
Межов, И.И.
Строкач, А.П.
Удовиченко, С.Ю.
Цыганков, С.С.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽