Полное описание

Шикова, Т. Г. Исследование закономерностей формирования тонких пленок металлов и их оксидов плазменными методами / Т. Г. Шикова, И. В. Холодков. - Текст : непосредственный // Исследования и разработки в области нанотехнологий - 2011. - Иваново, 2011. - С. 82-110. - Библиогр.: 17 назв.
(Шифр в БД Ж2-11/56141)
ГРНТИ 47.09.37

Кл.слова (ненормированные): диоксид олова -- оксид индия
Аннотация: Отработка технологических режимов получения пленок SnO₂, ITO (In₂O₃-SnO₂), обладающих высокой прозрачностью и проводимостью Исследование оптических, электрических и морфологических свойств полученных тонких пленок.
Доп. точки доступа:
Холодков, И.В.


Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ПНТ (1), ХРЦ (1)
Свободны: ПНТ (1), ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽