Полное описание

Наноструктурные TiN вакуумно-дуговые покрытия, полученные при действии постоянного и импульсного отрицательного потенциала на подложке / О. В. Соболь, А. А. Андреев, С. Н. Григорьев [и др.]. - Текст : непосредственный // Быстрозакаленные материалы и покрытия: доп. сб. тр. 10-й Юбил. Всерос. с междунар. участием науч.-техн. конф., 29-30 нояб. 2011 г., Москва. - М., 2011. - С. 40-44.
(Шифр в БД Д9-11/84759)
ГРНТИ 81.29.31

Кл.слова (ненормированные): нитрид титана
Аннотация: Сравнение структуры и напряженного состояния покрытий нитрида титана, полученных по стандартной схеме без дополнительных высоковольтных высокочастотных импульсов и с наложением таких импульсов, показывает, что к особенностям влияния импульсного ионного облучения можно отнести значительное уменьшение размеров кристаллитов и их неориентированный рост при небольшом значении потенциалов смещения на подложке, а также значительное снижение внутренних напряжений.
Доп. точки доступа:
Соболь, О.В.
Андреев, А.А.
Григорьев, С.Н.
Цветкова, Е.А.
Столбовой, В.А.
Фильчиков, В.Е.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽