Полное описание

Adams, T. M. Introductory mems : fabrication and applications / T. M. Adams, R. A. Layton. - Electronic text data. - Boston, Ma : Springer Science+Business Media LLC, 2010. - URL: http://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-09511-0. - ISBN 978-0-387-09511-0.

ГРНТИ	УДК
45.53	621.31-181.4

Кл.слова (ненормированные): микроэлектромеханические системы -- производство -- применение
Доп. точки доступа:
Layton, R.A.
SpringerLink (Online service)

http://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-09511-0

Просмотр издания