Полное описание

Реактивное ионное травление поверхности синтетического монокристалла алмаза в плазме / С. А. Тарелкин, В. Д. Бланк, С. Г. Буга [и др.]. - Текст : непосредственный // Участие молодых ученых в фундаментальных, поисковых и прикладных исследованиях по созданию новых углеродных и наноуглеродных материалов. - Пермь, 2011. - С. 146-151. - Библиогр.: 8 назв.
(Шифр в БД Д9-11/82708)
ГРНТИ 47.09.48

Аннотация: Изучен процесс плазменной обработки поверхности синтетического монокристаллического алмаза, исследовано влияние различных параметров газового разряда, а также состава газовой смеси на скорость и качество полировки поверхности.
Доп. точки доступа:
Тарелкин, С.А.
Бланк, В.Д.
Буга, С.Г.
Бормашов, В.С.
Волков, А.П.
Голованов, А.В.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽