Полное описание

Ионная полировка поверхности поликристалла ниобата лития / В. М. Гармаш, Г. Д. Кузнецов, А. С. Курочка, А. А. Сергиенко. - Текст : непосредственный // Микро- и нанотехнологии в электронике. - Нальчик : Каб.-Балк. гос. ун-т, 2009. - С. 55-57.
(Шифр в БД Д9-09/62985)
ГРНТИ 47.09.29

Аннотация: Установление возможности использования дополнительной ионной полировки поверхности монокристаллических подложек ниобата лития для уменьшения наношероховатости и получения более структурно-совершенных эпитаксильных слоев.
Доп. точки доступа:
Гармаш, В.М.
Кузнецов, Г.Д.
Курочка, А.С.
Сергиенко, А.А.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽