Полное описание

Получение и оптические исследования сквозной трехслойной наноструктуры на кремнии / В. А. Юзова, М. А. Герасимова, Ф. Ф. Меркушев, А. Е. Крум. - Текст : непосредственный // Ультрадисперсные порошки, наноструктуры, материалы. VI Ставеровские чтения : тр. Всерос. науч.-техн. конф. с междунар. участием, посвящ. 30-летию открытия наноалмазов, 9 - 12 сент. 2012 г., Бийск. - Красноярск, 2012. - С. 137-140. - Библиогр.: 10 назв.
(Шифр в БД Ж2-12/53826)
ГРНТИ 47.13.07

Аннотация: Получена сквозная трехслойная структура "макропористый - мезопористый - макропористый кремний" на кремниевой пластине новым методом. Отличие разработанной технологии заключается в том, что травление кремния производится на большую глубину одновременно с двух сторон кремниевой пластины, что дает возможность избежать дополнительных операций удаления монокристаллического слоя. Исследована однородность оптических свойств внешних макропористых слоев по спектрам фотолюминесценции. Экспериментально показано коротковолновое смещение максимума спектра испускания фотолюминесценции и снижение его интенсивности в зависимости от уменьшения длины волны возбуждения (глубины проникновения излучения в пористый слой).
Доп. точки доступа:
Юзова, В.А.
Герасимова, М.А.
Меркушев, Ф.Ф.
Крум, А.Е.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽