Полное описание

Полупроводниковые чувствительные элементы датчиков давлений на основе наноструктурированного поликристаллического кремния / А. Мишанин, А. Родионов, С. Козин, И. Баринов. - Текст : непосредственный // Компоненты и технологии = Components & Technologies. - 2009. - № 9. - С. 29-32. - Библиогр.: 12 назв.
(Шифр в БД У2666/2009/9)
ГРНТИ 59.37.33 + 47.09.48

Кл.слова (ненормированные): приборостроение
Аннотация: Конструктивно-технологические решения по созданию полупроводниковых чувствительных элементов датчиков давления на основе наноструктурированного поликристаллического кремния.
Доп. точки доступа:
Мишанин, А.
Родионов, А.
Козин, С.
Баринов, И.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽