Полное описание

Агаркова, И. Н. Современные технологии очистки сточных вод производства СБИС / И.Н. Агаркова, Г.Г. Буцын, Н.В. Лебедева. - Текст : непосредственный // Чистые помещения и технологические среды. - 2009. - № 3-4. - С. 6-11. - Библиогр.: 10 назв.
(Шифр в БД У2854/2009/3)
Аннотация: Разработка современной технологии очистки сточных вод производства кристаллов сверхбольших интегральных микросхем (СБИС). Источники образования и состав сточных вод. Методы очистки, требования к очищенным стокам.
Доп. точки доступа:
Буцын, Г.Г.
Лебедева, Н.В.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ЧЗХР (1)
Свободны: ЧЗХР (1)
Заказаны экз-ры для отделов: ХР

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽