Полное описание

Бузунов, Н. В. Исследование инжекционно-термической обработки наноразмерных диэлектрических слоев / Н. В. Бузунов, В. А. Сеничкин. - Текст : непосредственный // Наноинженерия - 2011. - М. : Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. - С. 91-97. - Библиогр.: 4 назв.
(Шифр в БД Д9-11/85756)
ГРНТИ 47.13.81

Аннотация: Исследование влияния температуры на выявление дефектов диэлектриков наноразмерной толщины, подвергшихся инжекционной обработке.
Доп. точки доступа:
Сеничкин, В.А.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽