Полное описание

Алфимова, Д. Л. Технология магнетронного напыления тонкопленочных покрытий / Д. Л. Алфимова, А. В. Благин, И. А. Сысоев. - Текст : непосредственный // Наукоемкие технологии для инновационной индустрии южного макрорегиона. - Ростов н/Д, 2011. - С. 51-55. - Библиогр.: 7 назв.
(Шифр в БД Ж2-11/51598)
ГРНТИ 47.13.11

Кл.слова (ненормированные): алюминий -- индий
Аннотация: Рассмотрены основные аспекты техники получения тонкопленочных (Al + In) покрытий методом магнетронного напыления (распыления) и особенности морфологии поверхности, выявленные в экспериментальных исследованиях.
Доп. точки доступа:
Благин, А.В.
Сысоев, И.А.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽