Полное описание

Кремниевые нанопроволочные транзисторы для электронных биосенсоров / О. В. Наумова, Б. И. Фомин, Л. Н. Сафронова [и др.]. - Текст : непосредственный // Автометрия = 0320-7102. - 2009. - Т. 45, № 4. - С. 6-11. - Библиогр.: 8 назв.
(Шифр в БД Р1984/2009/45/4)
ГРНТИ 29.19.31 + 47.09.29

Аннотация: Разработан метод наноструктурирования слоев кремний-на-изоляторе (КНИ) на основе газового травления в XeF₂ или SF₆:CFCl₃ для формирования КНИ-нанопроволочных структур. На основе этого метода изготовлены и исследованы характеристики КНИ-нанопроволочных транзисторов с открытыми каналами, используемыми в качестве сенсорных элементов электронных детекторов.
Доп. точки доступа:
Наумова, О.В.
Фомин, Б.И.
Сафронова, Л.Н.
Насимов, Д.А.
Ильницкий, М.А.
Дудченко, Н.В.
Девятова, С.Ф.
Жанаев, Э.Д.
Попов, В.П.
Латышев, А.В.
Асеев, А.Л.


Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХРЦ (2)
Свободны: ХРЦ (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽