Полное описание

Артемов, А. С. Инновационные аспекты технологии химико-механического нанополирования (ХМП) материалов полупроводниковой электроники / А. С. Артемов, И. Г. Рузавин, С. Б. Фарафонов. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии и наноматериалы : современное состояние и перспективы развития в условиях Волгоградской области. - Волгоград : ВолГУ, 2009. - С. 27-50. - Библиогр.: 1 назв.
(Шифр в БД Д9-09/71589)
ГРНТИ 47.03.01

Аннотация: Обобщены результаты экспериментального изучения четырех аспектов технологии ХМП полупроводников - химического, механического, коррозионно-электрохимического и механохимического.
Доп. точки доступа:
Рузавин, И.Г.
Фарафонов, С.Б.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽