Полное описание

Гадына, П. В. Анализ применения мембранных технологий водоподготовки для микро- и наноэлектроники / П. В. Гадына, М. В. Жирков, Е. В. Суханова. - Текст : непосредственный // Технико-экологические проблемы наукоемких производств : межвуз. сб. науч. тр. - М. : МИЭТ, 2010. - С. 62-66. - Библиогр.: 5 назв.
(Шифр в БД Д9-10/78052)
ГРНТИ 70.27.13 + 47.01.84

Аннотация: Водоподготовка для микро- и наноэлектроники имеет большое значение, так как высокочистая вода является важнейшим реагентом, без которого не могут функционировать высокотехнологические производства. Рассмотрена эффективность применения мембранных технологий для микро- и наноэлектроники.
Доп. точки доступа:
Жирков, М.В.
Суханова, Е.В.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ЭКО (1)
Свободны: ЭКО (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽