Полное описание

Синтез тонких пленок карбида кремния методом вакуумного лазерного испарения и исследование их свойств / Н. И. Каргин, А. С. Гусев, С. М. Рындя [и др.]. - Текст : непосредственный // Микро- и нанотехнологии в электронике. - Нальчик : Каб.-Балк. гос. ун-т, 2009. - С. 82-84.
(Шифр в БД Д9-09/62985)
ГРНТИ 47.09.29 + 29.19.16

Аннотация: Изучены физико-технологические особенности синтеза тонких пленок карбида кремния методом вакуумной лазерной абляции, в частности, анализа влияния температуры подложки на структурные свойства и морфологию поверхности экспериментальных образцов.
Доп. точки доступа:
Каргин, Н.И.
Гусев, А.С.
Рындя, С.М.
Бондаренко, Е.А.
Билалов, Б.А.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽