Полное описание

Особенности ионно-лучевого осаждения наноразмерных многокомпонентных островковых пленок / А. В. Благин, Л. С. Лунин, И. А. Сысоев, Д. А. Гусев. - Текст : непосредственный // Микроэлектронные информационно-управляющие системы и комплексы. - Новочеркасск, 2011. - С. 113-115. - Библиогр.: 2 назв.
(Шифр в БД Ж2-11/51935)
ГРНТИ 29.15.25

Кл.слова (ненормированные): галлий -- индий
Аннотация: В лаборатории физики полупроводников ЮРГТУ и в лаборатории солнечной энергетики ЮНЦ РАН разработана и сконструирована технологическая установка ионно-лучевого осаждения. Для получения наноразмерных островковых пленок выбран твердый раствор Ga_0,4In_0,1P_0,4As_0,1.
Доп. точки доступа:
Благин, А.В.
Лунин, Л.С.
Сысоев, И.А.
Гусев, Д.А.


Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ПНТ (1), ХРЦ (1)
Свободны: ПНТ (1), ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽