Полное описание

Полетаев, С. Д. Исследование разрешающей способности маскирующих слоев молибдена, структурированных по технологии лазерной термохимической записи / С. Д. Полетаев. - Текст : непосредственный // Сборник докладов Молодежной научной школы по нанофотонике (30 июня 2012 г.) 20-го международного конгресса Nanostructures: Physics and Technology. - Самара, 2012. - С. 7-9. - Библиогр.: 6 назв.
(Шифр в БД Ж2-12/53632)
ГРНТИ 47.13.35

Аннотация: Рассмотрено формирование структур субмикронного размера на подложках из плавленого кварца при помощи метода лазерной записи с последующим ионно-реактивным травлением в индуктивно связанной плазме. В качестве масок использовались плёнки молибдена толщиной 30-40 нм.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽