Полное описание

Сидорова, С. В. Исследование влияния технологических режимов на размеры островковых наноструктур / С. В. Сидорова, И. Н. Куликов, Д. В. Тетерук. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - С. 211-215. - Библиогр.: 3 назв.
(Шифр в БД Ж2-10/53811)
ГРНТИ 81.29.29

Аннотация: Представлены результаты исследования наиболее значимых технологических факторов, влияющих на рост островковых наноструктур (квантовых точек). Эксперименты проведены с применением метода термического испарения, реализованного на вакуумной установке модульного типа.
Доп. точки доступа:
Куликов, И.Н.
Тетерук, Д.В.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽