Полное описание
>
Одиноков, В. В. Новое технологическое оборудование - инновационным технологиям микро-, нано-, радиоэлектроники / В. В. Одиноков. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск, 2011. - С. 787-797.
(Шифр в БД Д9-11/81110)
ГРНТИ 81.29.21
Аннотация: Представлены ведущие направления работ НИИТМ (Научно-исследовательского института точного машиностроения), к которым относится разработка, изготовление и поставка малогабаритного технологического вакуумного оборудования настольного типа для технического обучения, научных исследований, экспериментальных и опытно-промышленных производств, предприятий малого бизнеса.
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХРЦ (2)
Свободны: ХРЦ (2)
Заказ фрагмента документа ₽