Полное описание

Исмаилов, Т. А. Технология напыления наноразмерных слоев четырех металлов (Cr - Ni - Sn - Ag) для формирования стоковой области биполярного со статической индукцией транзистора (БСИТ) / Т. А. Исмаилов, А. Р. Шахмаева, П. Р. Захарова. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск, 2011. - С. 815-822. - Библиогр.: 2 назв.
(Шифр в БД Д9-11/81110)
ГРНТИ 47.14.15

Кл.слова (ненормированные): хром -- никель -- олово -- серебро
Аннотация: Представлены оптимальные варианты напыления четырех металлов (хром, никель, олово, серебро) в едином технологическом цикле на установке "LEYBORD AG Z-600" для формирования контакта к области стока при изготовлении структуры кристаллов БСИТ-транзисторов.
Доп. точки доступа:
Шахмаева, А.Р.
Захарова, П.Р.


Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХРЦ (2)
Свободны: ХРЦ (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽