Полное описание

Булыгина, Е. В. Формирование тонкопленочных структур с использованием матриц синтетического опала для изготовления газочувствительных элементов / Е. В. Булыгина, К. Н. Беседина, А. С. Власова. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - С. 204-206. - Библиогр.: 2 назв.
(Шифр в БД Ж2-10/53811)
ГРНТИ 59.35.29 + 29.19.16

Кл.слова (ненормированные): диоксид олова
Аннотация: Результаты экспериментальных исследований газочувствительности тонких пленок диоксида олова различной толщины, осажденных на поверхность массивного образца синтетического опала. Технология формирования тонкопленочной структуры, предназначенной для использования в качестве газочувствительного элемента.
Доп. точки доступа:
Беседина, К.Н.
Власова, А.С.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽