Полное описание

Каракеян, В. И. Анализ современных средств стабилизации микроклимата в чистых помещениях микро- и наноэлектроники / В. И. Каракеян, Е. А. Севрюкова. - Текст : непосредственный // Технико-экологические проблемы наукоемких производств : межвуз. сб. науч. тр. - М. : МИЭТ, 2010. - С. 127-135.
(Шифр в БД Д9-10/78052)
ГРНТИ 47.01.93

Аннотация: Рассмотрена стабилизация значений температуры и влажности в чистых помещениях производств микро- и наноэлектроники. Описаны технические решения и системы обеспечения микроклимата рабочих зон чистых помещений. Дан анализ различных режимов охлаждения и осушения воздуха в таких помещениях.
Доп. точки доступа:
Севрюкова, Е.А.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ЭКО (1)
Свободны: ЭКО (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽