Полное описание

Каракеян, В. И. Анализ и перспективы развития методов контроля высокочистых веществ в микро и наноэлектронике / В. И. Каракеян, Т. И. Хаханина. - Текст : непосредственный // Технико-экологические проблемы наукоемких производств : межвуз. сб. науч. тр. - М. : МИЭТ, 2010. - С. 136-142.
(Шифр в БД Д9-10/78052)
ГРНТИ 47.09.63 + 90.27.31

Аннотация: Рассмотрено определение примесей в высокочистых реагентах на уровне международных стандартов. Описаны особенности методологии контроля высокочистых реактивов наномикроэлектронного производства.
Доп. точки доступа:
Хаханина, Т.И.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ЭКО (1)
Свободны: ЭКО (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽