Полное описание

Беликов, А. И. Вакуумная технология формирования нанокомпозитных твердосмазочных покрытий методом магнетронного распыления композитной мишени / А. И. Беликов, В. Н. Калинин, И. И. Никонов. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XX юбил. науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, сент. 2013 г. - М. : МИЭМ, 2013. - С. 194-198. - Библиогр.: 4 назв.
(Шифр в БД Ж2-13/55868)
ГРНТИ 55.03.11 + 81.29.31

Кл.слова (ненормированные): никелид титана -- дисульфид молибдена
Аннотация: Представлены технология нанесения нанокомпозитных твердосмазочных покрытий методом магнетронного распыления единой композитной мишени и результаты исследований покрытия на основе TiN+MoS₂, полученного по данной технологии.
Доп. точки доступа:
Калинин, В.Н.
Никонов, И.И.


Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХРЦ (2)
Свободны: ХРЦ (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽