Полное описание

Каракеян, В. И. Анализ и перспективы развития электроаналитических методов контроля технологии водоподготовки в микро- и наноэлектронике / В. И. Каракеян, Т. И. Хаханина. - Текст : непосредственный // Методы и средства контроля технологий, материалов и изделий в микро- и наноэлектронике. - М., 2009. - С. 36-43.
(Шифр в БД Д9-09/65493)
ГРНТИ 70.27.13 + 47.01.84

Кл.слова (ненормированные): водное хозяйство
Аннотация: Определение примесей в высокочистой воде на уровне международных стандартов. Особенности контроля технологии водоподготовки. Условия определения неорганических загрязнений в высокочистой воде микронаноэлектронного производства.
Доп. точки доступа:
Хаханина, Т.И.


Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽