Полное описание
Журнал
Микроэлектроника/ Российская академия наук, Физико-технологический институт им. К. А. Валиева (Москва). - Москва : Российская академия наук, 1972 - . - Выходит раз в два месяца. - ISSN 0544-1269. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ УДК
47.33.37 621.3.049.76
ссылка Elibrary
Обложка
Журналы РАН