Полное описание

Н/2509/Р14-98-365
Реутов, В. Ф. Упорядочение гелиевых пор по направлению движения низкоэнергетичных ионов гелия в кремнии / В.Ф.Реутов,А.С.Сохацкий. - Дубна : [б. и.], 1998. - 14 с. : ил. - (Препринт / Объединенный ин-т ядерных исследований(Дубна) ; Р14-98-365). - 300 экз. - 1. 23 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.002:669(04)

Рубрики:
Кремний -- Ионное внедрение

Доп. точки доступа:
Сохацкий, А.С.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽