Полное описание

Н/2509/Р14-97-216
Реутов, В. Ф. ПЭМ-изучение в геометрии "Cross-Section" структурных изменений в кремнии в результате последовательного облучения ионами N + He и Ar +He / В.Ф.Реутов,А.С.Сохацкий. - Дубна : [б. и.], 1997. - 10 с. : ил. - (Препринт / Объединенный ин-т ядерных исследований(Дубна) ; Р14-97-216). - 300 экз. - 1716 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669.046.516(04)

Рубрики:
Ионное внедрение

Кл.слова (ненормированные): ионное внедрение
Доп. точки доступа:
Сохацкий, А.С.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽