Полное описание

Н/2509/Р14-2000-106
Роль поверхности в поведении радиационных дефектов в кремнии при отжиге / В.А.Буренков,В.С.Вариченко,А.Ю.Дидык,А.Р.Челядинский. - Дубна : [б. и.], 2000. - 8 с. : ил. - (Препринт / Объединенный ин-т ядерных исследований(Дубна) ; Р14-2000-106). - 290 экз. - 1 .19 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.002(04)

Рубрики:
Кремний -- Отжиг

Кл.слова (ненормированные): кремний -- отжиг
Доп. точки доступа:
Буренков, В.А.
Вариченко, В.С.
Дидык, А.Ю.
Челядинский, А.Р.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽