Полное описание

Н/2509/Р13-2009-117
Формирование молекулярных пучков для ионной имплантации / Ю. А. Ваганов [и др.]. - Дубна : [б. и.], 2009. - 11 с. : ил. - (Препринт / Объединенный ин-т ядерных исследований(Дубна) ; Р13-2009-117). - Библиогр.: с. 11(9 назв.). - Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621.793.184(04)

Рубрики:
Ионное внедрение

Доп. точки доступа:
Ваганов, Ю.А.
Мончка, Д.
Словински, Б.
Юшкевич, Ю.В.
Зубржицки, Я.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽