Полное описание

Н/2509/Е14-98-379
Slowinski, B. Deep ion implantation: advantages and current problems / B.Slowinski. - Dubna : [s. n.], 1998. - 4 p. : il. - (Препринт / Объединенный ин-т ядерных исследований(Дубна) ; Е14-98-379). - 300 экз. - 0. 80. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621.793.184(04)

Рубрики:
Ионное внедрение

Кл.слова (ненормированные): ионное внедрение
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽