Полное описание

Н/2509/Е14-96-440
Capacitors integrated with a dielectric made of implanted silicon / P.Zukowski,J.Partyka,P.Wegierek,T.Maczka. - Dubna : [s. n.], 1996. - 6 p. : il. - (Препринт / Объединенный ин-т ядерных исследований(Дубна) ; Е14-96-440). - 300 экз. - 1248 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77-047.84(04)
45.35	621.319.4:621.382-047.84(04)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Производство
Конденсаторы полупроводниковые -- Производство

Кл.слова (ненормированные): интегральные схемы -- производство -- полупроводниковые конденсаторы -- производство
Доп. точки доступа:
Zukowski, P.
Partyka, J.
Wegierek, P.
Maczka, T.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽