Полное описание

Н/2509/Е14-95-56
Реутов, В. Ф. Methods for obtaining a uniform volume concentration of implanted ions / В.Ф.Реутов. - Dubna : [s. n.], 1995. - 10 p. : il. - (Препринт / Объединенный ин-т ядерных исследований(Дубна) ; Е14-95-56). - 300 экз. - 684 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621.793.184(04)

Рубрики:
Ионное внедрение

Доп. точки доступа:
Reutov V.F.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽